薄膜電路:采用真空鍍膜、紫外光刻、刻蝕以及電鍍等工藝，在陶瓷基片上進(jìn)行無(wú)源器件、絕緣介質(zhì)膜及金屬導(dǎo)帶等的集成，從而制備得到具有特定功能的電路。